HEPAフィルター

（High Efficiency Particulate Air Filter）
米国の規格（IESやAEC）では、定格流量において、0.3μmの熱発生DOP（Di-Octyl Phthalate）粒子又は指定された代用エアロゾルに対して、最低99.97％の捕集効率を有し、初期圧力損失の最高値が25.4mmH2O（Water Gauge）以下で、丈夫なフレームにろ紙を折り込んで取り付けた使い捨ての乾式フィルターをいう。25.4mmH2O＝1inchH2O＝249Paである。HEPAフィルターのろ紙には、ガラス繊維が用いられている。JIS規格（Z8122）では、「定格流量で、粒径が0.3μmの粒子に対して、99.97％以上の粒子捕集効率をもち、かつ初期圧力損失が245Pa（25mmH2O）以下の性能を持つエアフィルター」と定義されている。クリーンルームの換気装置の最終エアフィルター等として使用されている。